Hochschulschrift
Plasmadiagnostische und oberflächenanalytische Untersuchungen zum Mechanismus der Abscheidung reaktiv gesputterter TiNx-Schichten
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783183423057
3183423057
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
IX, 103 S.
- Edition
-
Als Ms. gedr.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
graph. Darst.
Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss.
- Bibliographic citation
-
Fortschrittberichte VDI / 5 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 423, Reihe 5
- Keyword
-
Titannitrid
Magnetronsputtern
Plasmadiagnostik
Titannitrid
Magnetronsputtern
Dünne Schicht
Oberflächenanalyse
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Düsseldorf
- (who)
-
VDI-Verl.
- (when)
-
1996
- Creator
-
Roth, Roman
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.06.2025, 2:30 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Roth, Roman
- VDI-Verl.
Time of origin
- 1996
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