Hochschulschrift
Silber(I)- und Kupfer(I)-Precursoren für CVD, ALD und Spin-Coating Prozesse
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2009
- Schlagwort
-
CVD-Verfahren
Carboxylate
DNMR-Spektroskopie
Kupfer
Phosphane
Silber
Kupfer
Silber
- Urheber
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:ch1-201000265
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
15.08.2025, 07:24 MESZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
Deutsche Nationalbibliothek. Bei Fragen zum Objekt wenden Sie sich bitte an den Datenpartner.
Deutsche Nationalbibliothek. Bei Fragen zum Objekt wenden Sie sich bitte an den Datenpartner.
Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
Ähnliche Objekte (12)
Silber(I)- und Kupfer(I)-Precursoren für CVD, ALD und Spin-Coating Prozesse
Untersuchungen zur Thermolyse der CVD-Precursoren Methyltrichlorsilan und Trimethoxyboran
Untersuchungen zur Thermolyse der CVD-Precursoren Methyltrichlorsilan und Trimethoxyboran
Synthese und Erprobung neuer Precursoren für die CVD-Abscheidung von III/V-Halbleitern
Erdalkali-Hydrido-Alkoxo-Aluminate und ihre Verwendung als Single-source-Precursoren im CVD-Prozeß
Thin Film Perovskite Solar Cells: Fabrication via Spin Coating, Flash Evaporation and Chemical Vapor Deposition (CVD)
Investigation of Various Pretreatment Methods of Silver Substrates for ALD Coating
Characterization and Process Development of CVD/ALD-based Cu(Mn)/Co(W) Interconnect System
Diazadiene-Anwendungen in der Platinchemie, für CVD-Precursoren und als Substruktur in neuen Cryptanden und Tripoden
Synthese neuartiger Single-Source-Precursoren für die Abscheidung piezoelektrischer Bleizirkonattitanat(PZT)-Schichten mittels chemischer Gasphasenabscheidung (CVD)
Synthese neuartiger Single-Source-Precursoren für die Abscheidung piezoelektrischer Bleizirkonattitanat(PZT)-Schichten mittels chemischer Gasphasenabscheidung (CVD)
Kupfer- und Ruthenium-Precursoren : Synthese, Charakterisierung und deren Verwendung zur Abscheidung metallischer Schichten nach dem CVD-Verfahren
Silber(I)- und Kupfer(I)-Precursoren für CVD, ALD und Spin-Coating Prozesse
Untersuchungen zur Thermolyse der CVD-Precursoren Methyltrichlorsilan und Trimethoxyboran
Untersuchungen zur Thermolyse der CVD-Precursoren Methyltrichlorsilan und Trimethoxyboran
Synthese und Erprobung neuer Precursoren für die CVD-Abscheidung von III/V-Halbleitern
Erdalkali-Hydrido-Alkoxo-Aluminate und ihre Verwendung als Single-source-Precursoren im CVD-Prozeß
Thin Film Perovskite Solar Cells: Fabrication via Spin Coating, Flash Evaporation and Chemical Vapor Deposition (CVD)
Investigation of Various Pretreatment Methods of Silver Substrates for ALD Coating
Characterization and Process Development of CVD/ALD-based Cu(Mn)/Co(W) Interconnect System
Diazadiene-Anwendungen in der Platinchemie, für CVD-Precursoren und als Substruktur in neuen Cryptanden und Tripoden
Synthese neuartiger Single-Source-Precursoren für die Abscheidung piezoelektrischer Bleizirkonattitanat(PZT)-Schichten mittels chemischer Gasphasenabscheidung (CVD)
Synthese neuartiger Single-Source-Precursoren für die Abscheidung piezoelektrischer Bleizirkonattitanat(PZT)-Schichten mittels chemischer Gasphasenabscheidung (CVD)
Kupfer- und Ruthenium-Precursoren : Synthese, Charakterisierung und deren Verwendung zur Abscheidung metallischer Schichten nach dem CVD-Verfahren
Silber(I)- und Kupfer(I)-Precursoren für CVD, ALD und Spin-Coating Prozesse
Untersuchungen zur Thermolyse der CVD-Precursoren Methyltrichlorsilan und Trimethoxyboran
Untersuchungen zur Thermolyse der CVD-Precursoren Methyltrichlorsilan und Trimethoxyboran
Synthese und Erprobung neuer Precursoren für die CVD-Abscheidung von III/V-Halbleitern
Erdalkali-Hydrido-Alkoxo-Aluminate und ihre Verwendung als Single-source-Precursoren im CVD-Prozeß
Thin Film Perovskite Solar Cells: Fabrication via Spin Coating, Flash Evaporation and Chemical Vapor Deposition (CVD)
Investigation of Various Pretreatment Methods of Silver Substrates for ALD Coating
Characterization and Process Development of CVD/ALD-based Cu(Mn)/Co(W) Interconnect System
Diazadiene-Anwendungen in der Platinchemie, für CVD-Precursoren und als Substruktur in neuen Cryptanden und Tripoden
Synthese neuartiger Single-Source-Precursoren für die Abscheidung piezoelektrischer Bleizirkonattitanat(PZT)-Schichten mittels chemischer Gasphasenabscheidung (CVD)
Synthese neuartiger Single-Source-Precursoren für die Abscheidung piezoelektrischer Bleizirkonattitanat(PZT)-Schichten mittels chemischer Gasphasenabscheidung (CVD)