Direct polymer microcantilever fabrication from free-standing dry film photoresists
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Englisch
- Erschienen in
-
In: Journal of micromechanics and microengineering(30, 2020), H. 9
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Ilmenau
- (wer)
-
TU Ilmenau
- (wann)
-
2020
- Urheber
- DOI
-
10.1088/1361-6439/ab9e4c
- URN
-
urn:nbn:de:101:1-2021070107374363146948
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
25.03.2025, 13:47 MEZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Beteiligte
- Nilsen, Madeleine
- Dannberg, Oliver
- Fröhlich, Thomas
- Strehle, Steffen
- TU Ilmenau
Entstanden
- 2020
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