Hochschulschrift
Computersimulation zur Anwendbarkeit des Spiegelfacettenmodells bei der Auswertung von Defektstreulichtmessungen an hillockbehafteten Aluminium-Metallisierungsschichten
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Maße
-
30 cm
- Umfang
-
110 Bl.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 1995
- Schlagwort
-
Aluminium
Metallisierungsschicht
Ätzhügel
Lichtstreuung
- Urheber
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
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- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:44 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
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