Direct polymer microcantilever fabrication from free-standing dry film photoresists
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Englisch
- Bibliographic citation
-
In: Journal of micromechanics and microengineering(30, 2020), H. 9
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Ilmenau
- (who)
-
TU Ilmenau
- (when)
-
2020
- Creator
- DOI
-
10.1088/1361-6439/ab9e4c
- URN
-
urn:nbn:de:101:1-2021070107374363146948
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
25.03.2025, 1:47 PM CET
Data provider
This object is provided by:
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Associated
- Nilsen, Madeleine
- Dannberg, Oliver
- Fröhlich, Thomas
- Strehle, Steffen
- TU Ilmenau
Time of origin
- 2020
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