- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Dimensions
-
30 cm
- Extent
-
331 Bl.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Dortmund, Univ., Habil.-Schr., 1983 (Nicht f.d. Austausch)
- Keyword
-
Silizium
Ionenimplantation
Silicium
Ionenimplantation
- Creator
-
Heidemann, Klaus F.
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.06.2025, 2:29 PM CEST
Data provider
This object is provided by:
Deutsche Nationalbibliothek. If you have any questions about the object, please contact the data provider.
Deutsche Nationalbibliothek. If you have any questions about the object, please contact the data provider.
Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Heidemann, Klaus F.
Other Objects (12)
Präparation und Charakterisierung lateraler Transportstrukturen in Silizium, hergestellt mittels fokussierter Ionenimplantation
Dosisabhängigkeit der Amorphisierung von Silizium durch Ionenimplantation
Charakterisierung integriert-optischer Silizium-Wellenleiter
Untersuchung zur Erzeugung hochohmiger Bauelement-Bereiche in Silizium durch Ionenimplantation
Beeinflussung von Eigenschaften kristalliner optischer Medien durch Ionenimplantation
Optische Wellenleiter in dotierten Polymeren nach Ionenimplantation oder photochemischer Reaktion
Elektronenmikroskopische Charakterisierung von durch Ionenimplantation synthetisiertem Siliziumnitrid
Die Charakterisierung vergrabener Schichten nach umdotierender Ionenimplantation in Silizium im Hinblick auf das "Buried channel charge coupled device"
Untersuchung des tiefenaufgelösten Strahlenschadenprofils in Silizium nach Ionenimplantation mit Hilfe der MOS-Struktur
Verbundvorhaben Ionenimplantation
Experimente und Modellrechnungen zur Untersuchung mikroskopischer Prozesse bei der Ionenimplantation in Silizium
Durch Ionenimplantation dotierte Schichten in Silizium und ihre Anwendung in ortsbestimmenden Zählern
Präparation und Charakterisierung lateraler Transportstrukturen in Silizium, hergestellt mittels fokussierter Ionenimplantation
Dosisabhängigkeit der Amorphisierung von Silizium durch Ionenimplantation
Charakterisierung integriert-optischer Silizium-Wellenleiter
Untersuchung zur Erzeugung hochohmiger Bauelement-Bereiche in Silizium durch Ionenimplantation
Beeinflussung von Eigenschaften kristalliner optischer Medien durch Ionenimplantation
Optische Wellenleiter in dotierten Polymeren nach Ionenimplantation oder photochemischer Reaktion
Elektronenmikroskopische Charakterisierung von durch Ionenimplantation synthetisiertem Siliziumnitrid
Die Charakterisierung vergrabener Schichten nach umdotierender Ionenimplantation in Silizium im Hinblick auf das "Buried channel charge coupled device"
Untersuchung des tiefenaufgelösten Strahlenschadenprofils in Silizium nach Ionenimplantation mit Hilfe der MOS-Struktur
Verbundvorhaben Ionenimplantation
Experimente und Modellrechnungen zur Untersuchung mikroskopischer Prozesse bei der Ionenimplantation in Silizium
Durch Ionenimplantation dotierte Schichten in Silizium und ihre Anwendung in ortsbestimmenden Zählern
Präparation und Charakterisierung lateraler Transportstrukturen in Silizium, hergestellt mittels fokussierter Ionenimplantation
Dosisabhängigkeit der Amorphisierung von Silizium durch Ionenimplantation
Charakterisierung integriert-optischer Silizium-Wellenleiter
Untersuchung zur Erzeugung hochohmiger Bauelement-Bereiche in Silizium durch Ionenimplantation
Beeinflussung von Eigenschaften kristalliner optischer Medien durch Ionenimplantation
Optische Wellenleiter in dotierten Polymeren nach Ionenimplantation oder photochemischer Reaktion
Elektronenmikroskopische Charakterisierung von durch Ionenimplantation synthetisiertem Siliziumnitrid
Die Charakterisierung vergrabener Schichten nach umdotierender Ionenimplantation in Silizium im Hinblick auf das "Buried channel charge coupled device"
Untersuchung des tiefenaufgelösten Strahlenschadenprofils in Silizium nach Ionenimplantation mit Hilfe der MOS-Struktur
Verbundvorhaben Ionenimplantation
Experimente und Modellrechnungen zur Untersuchung mikroskopischer Prozesse bei der Ionenimplantation in Silizium