Monografie
3-D time-depending simulation of void formation in metallization structures
- Sprache
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Englisch
- Anmerkungen
-
Hannover, Univ., Diss., 2003
- Identifier
-
969247761
Thema
Integrierte Schaltung ; Metallisierungsschicht ; Leiterbahn ; Degradation ; Zeitabhängigkeit ; Hochschulschrift; Online-Publikation
Beteiligte Personen und Organisationen
- URN
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
26.01.2023, 13:57 MEZ
Objekttyp
- Monografie
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