Thin films with high surface roughness: thickness and dielectric function analysis using spectroscopic ellipsometry
- Sprache
-
Englisch
- Identifier
-
1213811848
Thema
Ellipsometrie; Rauigkeit; Schichtdicke; Dielektrische Funktion
Beteiligte Personen und Organisationen
Lehmann, Daniel
Seidel, Falko
Zahn, Dietrich R.T.
Seidel, Falko
Zahn, Dietrich R.T.
- URN
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
26.01.2023, 13:57 MEZ
Beteiligte
- Lehmann, Daniel
- Seidel, Falko
- Zahn, Dietrich R.T.
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