Hochschulschrift

Integration mikromechanischer Sensoren in einer CMOS/BiCMOS-Prozessumgebung

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Maße
21 cm
Umfang
VIII Bl., 200 S.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
München, Techn. Univ., Diss., 1996

Schlagwort
Kapazitiver Sensor
Integrierter Sensor
BICMOS
Mikromechanik
Siliciumbauelement
VLSI

Urheber
Scheiter, Thomas

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 13:51 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

  • Scheiter, Thomas

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