Hochschulschrift
Integration mikromechanischer Sensoren in einer CMOS/BiCMOS-Prozessumgebung
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
VIII Bl., 200 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
München, Techn. Univ., Diss., 1996
- Schlagwort
-
Kapazitiver Sensor
Integrierter Sensor
BICMOS
Mikromechanik
Siliciumbauelement
VLSI
- Urheber
-
Scheiter, Thomas
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
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- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:51 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Scheiter, Thomas
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