Hochschulschrift
Integration mikromechanischer Sensoren in einer CMOS/BiCMOS-Prozessumgebung
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
VIII Bl., 200 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
München, Techn. Univ., Diss., 1996
- Keyword
-
Kapazitiver Sensor
Integrierter Sensor
BICMOS
Mikromechanik
Siliciumbauelement
VLSI
- Creator
-
Scheiter, Thomas
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.06.2025, 1:51 PM CEST
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Scheiter, Thomas
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