Monografie

Detailed study of electromigration induced damage in Al and AlCuSi interconnects

Sprache
Englisch
Identifier
1049700457

Thema
Oberflächenschaden ; Elektromigration ; Studie

Beteiligte Personen und Organisationen
Möckl, U. E.
Bauer, M.
Kraft, Oliver
Sanchez, J. E.
Arzt, Eduard

URN
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
26.01.2023, 13:53 MEZ

Objekttyp


  • Monografie

Beteiligte


  • Möckl, U. E.
  • Bauer, M.
  • Kraft, Oliver
  • Sanchez, J. E.
  • Arzt, Eduard

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