Dispersion strengthening of Al films by oxygen ion implantation

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Englisch
Notes
In: Thin films: stresses and mechanical properties IV : symposium ... held April 12 - 16, 1993, San Francisco, California, U.S.A. - Pittsburgh, Pa. : Materials Research Soc., 1993. - (Materials Research Society symposium proceedings ; 308), S. 317-321

Classification
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
Keyword
Durchstrahlungselektronenmikroskop ; Krümmung ; Wafer ; Ionenimplantation

Event
Veröffentlichung
(where)
Saarbrücken
(who)
Saarländische Universitäts- und Landesbibliothek
(when)
2008
Contributor
Bader, S.
Flinn, P. A.
Arzt, Eduard
Nix, William D.

URN
urn:nbn:de:bsz:291-scidok-17936
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
14.08.2025, 10:50 AM CEST

Data provider

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  • Bader, S.
  • Flinn, P. A.
  • Arzt, Eduard
  • Nix, William D.
  • Saarländische Universitäts- und Landesbibliothek

Time of origin

  • 2008

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