- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Dimensions
-
25 cm
- Extent
-
II, 120 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Münster (Westfalen), Univ., Diss., 1993 (Beschränkt für den Ausstausch)
- Keyword
-
Siliciumhalbleiter
Wafer
Sekundärionen-Massenspektrometrie
- Creator
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.03.2025, 11:46 AM CET
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
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