Monografie

Aluminium scandium nitride grown by metalorganic chemical vapour deposition

Language
Englisch
Identifier
1225294118

Subject
Scandium; Aluminum; Nitride; HEMT; MOCVD-Verfahren

Contributor
Ligl, Jana
Ambacher, Oliver
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg / Fakultät für Angewandte Wissenschaften

DOI
10.6094/UNIFR/175256
URN
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
26.01.2023, 1:53 PM CET

Object type


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