- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783981549522
- Dimensions
-
24 cm, 456 g
- Extent
-
XIII, 125 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Dortmund, Univ., Diss., 2014
- Keyword
-
Drucksensor
MEMS
Herstellung
Nanotechnologie
SOI-Technik
Elektromechanischer Wandler
Transistor
CMOS
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.06.2025, 2:00 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Poloczek, Remigius
- Theophano-Verl.
Time of origin
- 2014
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