Hochschulschrift
Analyse physikalischer Eigenschaften trockenätzinduzierter Defekte in Silizium mit Rasterelektronen- und Rasterkraftmikroskopie
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783891918043
3891918046
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
130 S.
- Ausgabe
-
1. Aufl.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Konstanz, Univ., Diss., 1994
- Erschienen in
-
Konstanzer Dissertationen ; Bd. 430
- Schlagwort
-
CMOS
Siliciumhalbleiter
Trockenätzen
Fertigungsfehler
Störstelle
EBIC-Verfahren
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Konstanz
- (wer)
-
Hartung-Gorre
- (wann)
-
1994
- Urheber
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
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- Letzte Aktualisierung
-
11.03.2025, 11:46 MEZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Jäger-Waldau, Gerold
- Hartung-Gorre
Entstanden
- 1994
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