Hochschulschrift
Analyse physikalischer Eigenschaften trockenätzinduzierter Defekte in Silizium mit Rasterelektronen- und Rasterkraftmikroskopie
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783891918043
3891918046
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
130 S.
- Edition
-
1. Aufl.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Konstanz, Univ., Diss., 1994
- Bibliographic citation
-
Konstanzer Dissertationen ; Bd. 430
- Keyword
-
CMOS
Siliciumhalbleiter
Trockenätzen
Fertigungsfehler
Störstelle
EBIC-Verfahren
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Konstanz
- (who)
-
Hartung-Gorre
- (when)
-
1994
- Creator
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.03.2025, 11:46 AM CET
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Jäger-Waldau, Gerold
- Hartung-Gorre
Time of origin
- 1994
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