Monografie

Abscheidung und Zersetzung von Selten-Erd-Oxid-Precursorn auf der H-terminierten Si(111)- und der SiO2 -Oberfläche

Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Oldenburg, Univ., Diss., 2009
Identifier
996769080

Thema
Oberflächenchemie ; Silicium ; Seltenerdoxide ; Ausgangsmaterial ; Abscheidung ; Zersetzung ; Pyrolyse ; Dünne Schicht; Oberflächenchemie; Hochschulschrift

Beteiligte Personen und Organisationen

URN
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
26.01.2023, 13:53 MEZ

Objekttyp

  • Monografie

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