Reliability of MEMS : [testing of materials and devices]

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783527314942
3527314946
Maße
25 cm
Umfang
XX, 303 S.
Sprache
Englisch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Literaturangaben

Erschienen in
Advanced micro & nanosystems ; Vol. 6

Klassifikation
Elektrotechnik, Elektronik
Schlagwort
MEMS
Zuverlässigkeit

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Weinheim
(wer)
Wiley-VCH
(wann)
2008
Beteiligte Personen und Organisationen
Tabata, Osamu

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.03.2025, 11:48 MEZ

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Beteiligte

  • Tabata, Osamu
  • Wiley-VCH

Entstanden

  • 2008

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