Hochschulschrift
Characterization and reliability testing of thin-film materials for robust MEMS sensors
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783844042603
3844042601
- Maße
-
21 cm, 425 g
- Umfang
-
xxix, 249 Seiten
- Ausgabe
-
[1. Auflage]
- Sprache
-
Englisch
- Anmerkungen
-
Illustrationen
Karlsruher Institut für Technologie, Dissertation, 2015
- Schlagwort
-
MEMS
Sensor
Siliciumdioxid
PECVD-Verfahren
Dünne Schicht
Wärmeleitfähigkeit
Wärmekapazität
MEMS
Sensor
Siliciumcarbid
LPCVD-Verfahren
Dünne Schicht
Elektrische Eigenschaft
Mechanische Eigenschaft
Sensor
MEMS
Dünne Schicht
Zuverlässigkeit
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Aachen
- (wer)
-
Shaker Verlag
- (wann)
-
2016
- Urheber
- Beteiligte Personen und Organisationen
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
2025-06-11T14:10:36+0200
Datenpartner
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Rusanov, Radoslav
- Shaker Verlag
- Shaker Verlag
Entstanden
- 2016
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