Monografie

Characterization and reliability testing of thin-film materials for robust MEMS sensors

Ausgabe
[1. Auflage]
Sprache
Englisch
Umfang
xxix, 249 Seiten
ISBN
978-3-8440-4260-3
Identifier
1081996838

Reihe
Berichte aus der Mikrosystemtechnik

Thema
Siliciumdioxid ; PECVD-Verfahren ; Wärmeleitfähigkeit ; Wärmekapazität ; Siliciumcarbid ; LPCVD-Verfahren ; Elektrische Eigenschaft ; Mechanische Eigenschaft ; Sensor ; MEMS ; Dünne Schicht ; Zuverlässigkeit ; Hochschulschrift

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Letzte Aktualisierung
15.04.2024, 08:44 MESZ

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