Monografie
Characterization and reliability testing of thin-film materials for robust MEMS sensors
- Ausgabe
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[1. Auflage]
- Sprache
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Englisch
- Umfang
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xxix, 249 Seiten
- ISBN
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978-3-8440-4260-3
- Identifier
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1081996838
- Reihe
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Berichte aus der Mikrosystemtechnik
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
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- Letzte Aktualisierung
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15.04.2024, 08:44 MESZ
Datenpartner
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Objekttyp
- Monografie