Hochschulschrift
Hochrate-Abscheidung von piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnschichten mittels reaktiven Magnetron-Sputterns
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783959080132
3959080131
- Maße
-
23 cm, 220 g
- Umfang
-
103 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Dresden, Techn. Univ., Diss., 2015
- Erschienen in
-
Dresdner Beiträge zur Sensorik ; Bd. 56
- Schlagwort
-
Aluminiumnitrid
Magnetronsputtern
Reaktives Sputtern
Dünne Schicht
Mechanische Spannung
Schichtdicke
Aluminiumnitrid
Magnetronsputtern
Reaktives Sputtern
Dotierung
Dünne Schicht
Piezoelektrizität
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Dresden
- (wer)
-
TUDpress
- (wann)
-
2015
- Urheber
- Beteiligte Personen und Organisationen
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:58 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
Entstanden
- 2015
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