Hochschulschrift
Integration von piezoelektrischen Dünnschichten in einen MEMS-kompatiblen Prozessablauf auf Waferebene
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Kiel, Christian-Albrechts-Universität, Diss., 2007
- Klassifikation
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Schlagwort
-
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Kiel
- (wer)
-
Universitätsbibliothek Kiel
- (wann)
-
2009
- Urheber
- URN
-
urn:nbn:de:gbv:8-diss-21221
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
15.08.2025, 07:28 MESZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Jacobsen, Harald
- Universitätsbibliothek Kiel
Entstanden
- 2009
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