Hochschulschrift
Gepulste Laserabscheidung von piezoelektrischen Pb(Zr,Ti)O3-Dünnschichten zur Anwendung in mikroelektromechanischen Systemen
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783844069372
3844069372
- Maße
-
24 cm, 322 g
- Umfang
-
vi, 165 Seiten
- Ausgabe
-
[1. Auflage]
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Illustrationen
Universität Freiburg, Dissertation, 2019
- Erschienen in
-
Microactuators - design and technology ; volume 18
- Klassifikation
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Schlagwort
-
MEMS
PZT
Dünne Schicht
Impulslaserbeschichten
Mikrostruktur
Piezoelektrizität
Druckabhängigkeit
Temperaturabhängigkeit
CMOS
Versuchsplanung
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Düren
- (wer)
-
Shaker Verlag
- (wann)
-
2019
- Urheber
- Beteiligte Personen und Organisationen
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:55 MESZ
Datenpartner
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Schatz, Andreas
- Shaker Verlag
- Shaker Verlag
Entstanden
- 2019
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