Kapazitiv gekoppelte Mehrfrequenzplasmen zur Abscheidung keramischer und ferromagnetischer Schichten
- Standort
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
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Online-Ressource
- Sprache
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Deutsch
- Anmerkungen
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Bochum, Ruhr-Universität Bochum, Dissertation, 2014
- Schlagwort
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Plasma
Frequenz
Ferromagnetische Schicht
Plasmaabscheidung
Hochfrequenzplasma
Stehende Welle
Plasma
Beschichtung
Zerstäubung
Ferromagnetische Schicht
Hochfrequenzplasma
- Ereignis
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Veröffentlichung
- (wo)
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Bochum
- (wer)
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Ruhr-Universität Bochum
- (wann)
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2014
- Urheber
- Beteiligte Personen und Organisationen
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Awakowicz, Peter
Mussenbrock, Thomas
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
- URN
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urn:nbn:de:hbz:294-40819
- Rechteinformation
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Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
25.03.2025, 13:51 MEZ
Datenpartner
Deutsche Nationalbibliothek. Bei Fragen zum Objekt wenden Sie sich bitte an den Datenpartner.
Beteiligte
- Bienholz, Stefan
- Awakowicz, Peter
- Mussenbrock, Thomas
- Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
- Ruhr-Universität Bochum
Entstanden
- 2014