Kapazitiv gekoppelte Mehrfrequenzplasmen zur Abscheidung keramischer und ferromagnetischer Schichten

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Bochum, Ruhr-Universität Bochum, Dissertation, 2014

Schlagwort
Plasma
Frequenz
Ferromagnetische Schicht
Plasmaabscheidung
Hochfrequenzplasma
Stehende Welle
Plasma
Beschichtung
Zerstäubung
Ferromagnetische Schicht
Hochfrequenzplasma

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Bochum
(wer)
Ruhr-Universität Bochum
(wann)
2014
Urheber
Beteiligte Personen und Organisationen
Awakowicz, Peter
Mussenbrock, Thomas
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik

URN
urn:nbn:de:hbz:294-40819
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
25.03.2025, 13:51 MEZ

Datenpartner

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Beteiligte

  • Bienholz, Stefan
  • Awakowicz, Peter
  • Mussenbrock, Thomas
  • Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
  • Ruhr-Universität Bochum

Entstanden

  • 2014

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