Kapazitiv gekoppelte Mehrfrequenzplasmen zur Abscheidung keramischer und ferromagnetischer Schichten
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Bochum, Ruhr-Universität Bochum, Dissertation, 2014
- Schlagwort
-
Plasma
Frequenz
Ferromagnetische Schicht
Plasmaabscheidung
Hochfrequenzplasma
Stehende Welle
Plasma
Beschichtung
Zerstäubung
Ferromagnetische Schicht
Hochfrequenzplasma
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Bochum
- (wer)
-
Ruhr-Universität Bochum
- (wann)
-
2014
- Urheber
- Beteiligte Personen und Organisationen
-
Awakowicz, Peter
Mussenbrock, Thomas
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
- URN
-
urn:nbn:de:hbz:294-40819
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
14.08.2025, 10:50 MESZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Beteiligte
- Bienholz, Stefan
- Awakowicz, Peter
- Mussenbrock, Thomas
- Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
- Ruhr-Universität Bochum
Entstanden
- 2014
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