Hochschulschrift
Entwicklung und Anwendung von kombinatorischen Methoden und Mikrosensoren zur Messung mechanischer Schichtspannungen und der Schichttemperatur bei reaktiven Plasmabeschichtungsprozessen
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Bochum, Ruhr-Universität Bochum, Dissertation, 2016
- Klassifikation
-
Industrielle und handwerkliche Fertigung
- Schlagwort
-
Plasmaabscheidung
Temperatur
Messung
Mikrosensor
Elektrische Spannung
Dünne Schicht
Beschichten
Schichtwachstum
Sputtern
Kathode
Plasma
Target
Kombinatorik
Sensor
Plasma
Schichtspannung
Hochleistungsimpulsmagnetronsputtern
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Bochum
- (wer)
-
Ruhr-Universität Bochum
- (wann)
-
2016
- Urheber
- Beteiligte Personen und Organisationen
-
Ludwig, Alfred
Awakowicz, Peter
- URN
-
urn:nbn:de:hbz:294-49865
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
14.08.2025, 11:00 MESZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Grochla, Darius G.
- Ludwig, Alfred
- Awakowicz, Peter
- Ruhr-Universität Bochum
Entstanden
- 2016
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