Acoustic laser cleaning of silicon surfaces

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch

Erschienen in
In: Applied Physics / A, Materials Science and Processing ; 89 (2007). - S. 109-113

Klassifikation
Physik

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Konstanz
(wer)
Bibliothek der Universität Konstanz
(wann)
2008
Beteiligte Personen und Organisationen
Geldhauser, Tobias
Ziese, Florian
Merkt, Florian
Erbe, Artur
Boneberg, Johannes
Leiderer, Paul

URN
urn:nbn:de:bsz:352-opus-55016
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
25.03.2025, 13:47 MEZ

Datenpartner

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Beteiligte

Entstanden

  • 2008

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