Universal threshold for the steam laser cleaning of submicron spherical particles from silicon

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch

Erschienen in
In: Applied Physics / A, Materials Science and Processing ; 70 (2000), 6. - S. 669-672

Klassifikation
Physik

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Konstanz
(wer)
Bibliothek der Universität Konstanz
(wann)
2007
Beteiligte Personen und Organisationen
Mosbacher, Mario
Dobler, Volker
Boneberg, Johannes
Leiderer, Paul

URN
urn:nbn:de:bsz:352-opus-28555
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
14.08.2025, 10:48 MESZ

Datenpartner

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Beteiligte

  • Mosbacher, Mario
  • Dobler, Volker
  • Boneberg, Johannes
  • Leiderer, Paul
  • Bibliothek der Universität Konstanz

Entstanden

  • 2007

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