Laser cleaning of silicon wafers : prospects and problems

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Englisch
Notes
In: Surface contamination and cleaning, Vol 1 / Mittal, K. L. (Hrsg.). - Utrecht : VSP, 2003

Classification
Physik

Event
Veröffentlichung
(where)
Konstanz
(who)
Bibliothek der Universität Konstanz
(when)
2007
Contributor
Mosbacher, Mario
Dobler, Volker
Bertsch, Micha
Münzer, Hans-Joachim
Boneberg, Johannes
Leiderer, Paul

URN
urn:nbn:de:bsz:352-opus-27803
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
25.03.2025, 1:55 PM CET

Data provider

This object is provided by:
Deutsche Nationalbibliothek. If you have any questions about the object, please contact the data provider.

Associated

  • Mosbacher, Mario
  • Dobler, Volker
  • Bertsch, Micha
  • Münzer, Hans-Joachim
  • Boneberg, Johannes
  • Leiderer, Paul
  • Bibliothek der Universität Konstanz

Time of origin

  • 2007

Other Objects (12)