Laser cleaning of silicon wafers : prospects and problems

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch
Anmerkungen
In: Surface contamination and cleaning, Vol 1 / Mittal, K. L. (Hrsg.). - Utrecht : VSP, 2003

Klassifikation
Physik

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Konstanz
(wer)
Bibliothek der Universität Konstanz
(wann)
2007
Beteiligte Personen und Organisationen
Mosbacher, Mario
Dobler, Volker
Bertsch, Micha
Münzer, Hans-Joachim
Boneberg, Johannes
Leiderer, Paul

URN
urn:nbn:de:bsz:352-opus-27803
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
25.03.2025, 13:55 MEZ

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Beteiligte

  • Mosbacher, Mario
  • Dobler, Volker
  • Bertsch, Micha
  • Münzer, Hans-Joachim
  • Boneberg, Johannes
  • Leiderer, Paul
  • Bibliothek der Universität Konstanz

Entstanden

  • 2007

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