Miniaturized pH-Sensitive Field-Effect Capacitors with Ultrathin Ta2O5 Films Prepared by Atomic Layer Deposition
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Englisch
- Erschienen in
-
In: 10.1002/pssa.202100660
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Aachen
- (wer)
-
Universitätsbibliothek der RWTH Aachen
- (wann)
-
2022
- Urheber
-
Molinnus, Denise
Iken, Heiko
Johnen, Anna Lynn
Richstein, Benjamin
Hellmich, Lena
Poghossian, Arshak
Knoch, Joachim
Schöning, Michael Josef
- DOI
-
10.18154/RWTH-2023-03381
- URN
-
urn:nbn:de:101:1-2023052501490556159874
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
14.08.2025, 10:50 MESZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Beteiligte
- Molinnus, Denise
- Iken, Heiko
- Johnen, Anna Lynn
- Richstein, Benjamin
- Hellmich, Lena
- Poghossian, Arshak
- Knoch, Joachim
- Schöning, Michael Josef
- Universitätsbibliothek der RWTH Aachen
Entstanden
- 2022
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