Reconfigurable field-effect transistors based on wet-chemically etched silicon nanostructures

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Englisch
Notes
Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, Dissertation, 2022

Classification
Elektrotechnik, Elektronik
Keyword
MOS-FET
Silicium
Kurzkanal-FET
Nanoelektronik
CMOS
High-k-Dielektrikum
MES-FET

Event
Veröffentlichung
(where)
Aachen
(who)
Universitätsbibliothek der RWTH Aachen
(when)
2022
Creator
Sun, Bin
Contributor
Knoch, Joachim
Mikolajick, Thomas

DOI
10.18154/RWTH-2022-08816
URN
urn:nbn:de:101:1-2022100601345899705836
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
25.03.2025, 1:53 PM CET

Data provider

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Associated

  • Sun, Bin
  • Knoch, Joachim
  • Mikolajick, Thomas
  • Universitätsbibliothek der RWTH Aachen

Time of origin

  • 2022

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