Innovative Beleuchtung für neuartige Abbildungs- und Lithographiesysteme

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Ilmenau, TU Ilmenau, Dissertation, 2020

Klassifikation
Elektrotechnik, Elektronik
Schlagwort
Beleuchtung
Lithografie

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Ilmenau
(wer)
TU Ilmenau
(wann)
2020
Urheber
Beteiligte Personen und Organisationen

URN
urn:nbn:de:gbv:ilm1-2020000154
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
25.03.2025, 13:43 MEZ

Datenpartner

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Beteiligte

Entstanden

  • 2020

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