- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Erschienen in
-
In: Erlangen-Nürnberg : Deutsche Gesellschaft für Angewandte Optik
In: DGaO-Proceedings(119, 2018)
- Klassifikation
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Schlagwort
-
Lithografie
Hologramm
Photoresist
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Ilmenau
- (wer)
-
TU Ilmenau
- (wann)
-
2018
- Urheber
- URN
-
urn:nbn:de:0287-2018-B012-1
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
25.03.2025, 13:52 MEZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Beteiligte
- Fischer, David
- Sinzinger, Stefan
- TU Ilmenau
Entstanden
- 2018
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