Hochschulschrift
Electron beam induced carbon nanomasking used for selective electrochemical reactions on semiconductor surfaces
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Maße
-
30 cm
- Umfang
-
137 S.
- Sprache
-
Englisch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 2002
- Schlagwort
-
Rasterelektronenmikroskop
Elektronenstrahllithografie
CVD-Verfahren
Kohlenstoff
Maskentechnik
Nanostruktur
Rasterelektronenmikroskop ; Elektronenstrahllithographie ; CVD-Verfahren ; Kohlenstoff ; Maskentechnik ; Nanostruktur
- Urheber
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.03.2025, 12:02 MEZ
Datenpartner
Deutsche Nationalbibliothek. Bei Fragen zum Objekt wenden Sie sich bitte an den Datenpartner.
Objekttyp
- Hochschulschrift