Hochschulschrift

Electron beam induced carbon nanomasking used for selective electrochemical reactions on semiconductor surfaces

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Maße
30 cm
Umfang
137 S.
Sprache
Englisch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 2002

Schlagwort
Rasterelektronenmikroskop
Elektronenstrahllithografie
CVD-Verfahren
Kohlenstoff
Maskentechnik
Nanostruktur
Rasterelektronenmikroskop ; Elektronenstrahllithographie ; CVD-Verfahren ; Kohlenstoff ; Maskentechnik ; Nanostruktur

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Letzte Aktualisierung
11.03.2025, 12:02 MEZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

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