Hochschulschrift

Electron beam induced carbon nanomasking used for selective electrochemical reactions on semiconductor surfaces

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Englisch
Notes
Dateien im PDF-Format
Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 2002

Classification
Technische Chemie
Keyword
Rasterelektronenmikroskop
Elektronenstrahllithografie
CVD-Verfahren
Kohlenstoff
Maskentechnik
Nanostruktur
Rasterelektronenmikroskop ; Elektronenstrahllithographie ; CVD-Verfahren ; Kohlenstoff ; Maskentechnik ; Nanostruktur

Creator

URN
urn:nbn:de:bvb:29-opus-348
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
25.03.2025, 1:50 PM CET

Data provider

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Object type

  • Hochschulschrift

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