Hochschulschrift
Electron beam induced carbon nanomasking used for selective electrochemical reactions on semiconductor surfaces
- Location
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Dimensions
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30 cm
- Extent
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137 S.
- Language
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Englisch
- Notes
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Ill., graph. Darst.
Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 2002
- Keyword
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Rasterelektronenmikroskop
Elektronenstrahllithografie
CVD-Verfahren
Kohlenstoff
Maskentechnik
Nanostruktur
Rasterelektronenmikroskop ; Elektronenstrahllithographie ; CVD-Verfahren ; Kohlenstoff ; Maskentechnik ; Nanostruktur
- Creator
- Table of contents
- Rights
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- Last update
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11.06.2025, 2:30 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift