Hochschulschrift
Entwicklung von CMOS-kompatiblen 50V-"Smart-Power"-Prozessen mit vollständiger dielektrischer Isolation auf BSOI- und lokalen SIMOX-Substraten
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783826598623
3826598628
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
XVIII, 287 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Duisburg, Univ., Diss., 2001
- Keyword
-
Smart-power-Bauelement
CMOS
Dielektrische Schicht
SIMOX
DMOS-FET
Durchschlagfestigkeit
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Aachen
- (who)
-
Shaker
- (when)
-
2002
- Creator
-
Weyers, Joachim
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.06.2025, 1:45 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Weyers, Joachim
- Shaker
Time of origin
- 2002
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