Hochschulschrift
Metallorganische Chemische Gasphasenabscheidung (MOCVD) ferroelektrischer Dünnschichten: Herstellung und Charakterisierung
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783893364923
- Dimensions
-
24 cm
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2007
- Bibliographic citation
-
Schriften des Forschungszentrums Jülich / Reihe Informationstechnik / Forschungszentrum Jülich ; Bd. 17, [...]
- Keyword
-
MOCVD-Verfahren ; FRAM
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Jülich
- (who)
-
Forschungszentrum, Zentralbibliothek
- (when)
-
2007
- Creator
- URN
-
urn:nbn:de:hbz:82-opus-20401
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
25.03.2025, 1:50 PM CET
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Puchalla, Jochen
- Forschungszentrum, Zentralbibliothek
Time of origin
- 2007
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