Hochschulschrift

Metallorganisch chemische Gasphasenabscheidung (MOCVD) von oxidischen hochε [hoch-epsilon] Schichten

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Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Dimensions
30 cm
Extent
IV, 166 S.
Language
Deutsch
Notes
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2004

Bibliographic citation
Berichte des Forschungszentrums Jülich / Forschungszentrum Jülich ; 4159

Classification
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

Event
Veröffentlichung
(where)
Jülich
(who)
Forschungszentrum, Zentralbibliothek
(when)
2005
Creator
Regnery, Stephan

Table of contents
Rights
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Last update
11.06.2025, 2:26 PM CEST

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Object type

  • Hochschulschrift

Associated

  • Regnery, Stephan
  • Forschungszentrum, Zentralbibliothek

Time of origin

  • 2005

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