Monografie
Effizienzsteigerung der Abgasreinigung von Prozessgasen in der Chipindustrie mittels einer neuartigen Plasma-Barriereentladung, AZ 32701/01
- Ausgabe
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2017
- Sprache
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Deutsch
- Identifier
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1160324913
Diener, Christof
Diener electronic GmbH & Co. KG / Reker GbR
- URN
- Rechteinformation
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Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
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26.01.2023, 13:57 MEZ
Objekttyp
- Monografie
Beteiligte
- Reker, Wolfgang
- Diener, Christof
- Diener electronic GmbH & Co. KG / Reker GbR