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Effizienzsteigerung der Abgasreinigung von Prozessgasen in der Chipindustrie mittels einer neuartigen Plasma-Barriereentladung, AZ 32701/01
Beteiligte Personen und Organisationen:
Reker, Wolfgang
Diener, Christof
Diener electronic GmbH & Co. KG / Reker GbR
Diener, Christof
Diener electronic GmbH & Co. KG / Reker GbR
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Dokumenttyp:
Monografie
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Ausgabe:
2017
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Sprache:
Deutsch
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Thema:
Deutsche Bundesstiftung Umwelt; Abgasreinigung; Plasma; Abgas
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Link zum Katalogisat/OPAC:
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URN:
Identifier:
1160324913
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Rechteinformation:
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Rechtsstatus:
Letzte Aktualisierung: 26.01.2023, 13:57 MEZ
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Effizienzsteigerung der Abgasreinigung von Prozessgasen in der Chipindustrie mittels einer neuartigen Plasma-Barriereentladung, AZ 32701/01
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