Monografie

Effizienzsteigerung der Abgasreinigung von Prozessgasen in der Chipindustrie mittels einer neuartigen Plasma-Barriereentladung, AZ 32701/01

Ausgabe
2017
Sprache
Deutsch
Identifier
1160324913

Thema
Deutsche Bundesstiftung Umwelt; Abgasreinigung; Plasma; Abgas

Beteiligte Personen und Organisationen
Reker, Wolfgang
Diener, Christof
Diener electronic GmbH & Co. KG / Reker GbR

URN
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
26.01.2023, 13:57 MEZ

Objekttyp


  • Monografie

Beteiligte


  • Reker, Wolfgang
  • Diener, Christof
  • Diener electronic GmbH & Co. KG / Reker GbR

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