Hochschulschrift

Miniaturization limits of MEMS accelerometers

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783862470754
Maße
24 cm
Umfang
XIV,110 S.
Sprache
Englisch
Anmerkungen
graph. Darst.
Zugl.: Freiburg (Breisgau), Univ., Diss., 2010

Erschienen in
Microsystem simulation, design and manufacture ; Vol. 5

Klassifikation
Elektrotechnik, Elektronik
Schlagwort
Beschleunigungssensor
MEMS
Miniaturisierung
Zuverlässigkeit
Feldeffektsensor

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Tönning, Lübeck, Marburg
(wer)
Der Andere Verl.
(wann)
2010
Urheber
Engesser, Manuel

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 13:43 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

  • Engesser, Manuel
  • Der Andere Verl.

Entstanden

  • 2010

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