Hochschulschrift
Active electrostatic MEMS bearing for inertial sensing applications
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783862473168
- Dimensions
-
24 cm
- Extent
-
XVI, 175 S.
- Language
-
Englisch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Zürich, Techn. Hochsch., Diss., 2012
- Bibliographic citation
-
Scientific reports on micro and nanosystems ; Vol. 15
- Keyword
-
Drehratensensor
MEMS
Systementwicklung
Fertigung
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Uelvesbüll
- (who)
-
Der Andere Verl.
- (when)
-
2012
- Creator
-
Kühne, Stéphane
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.06.2025, 1:52 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Kühne, Stéphane
- Der Andere Verl.
Time of origin
- 2012
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