Hochschulschrift
Konzeption, Realisierung und Bewertung eines Prozesses zur Integration von MEMS in Polymer
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783862471522
- Maße
-
24 cm
- Umfang
-
ca. 220 S. in getr. Zählung
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Freiburg (Breisgau), Univ., Diss., 2010
- Erschienen in
-
Advanced process and production technologies for micro systems made of metals, silicon and polymers (IMTEK Freiburg) / Albert-Ludwigs-Universität Freiburg ; Vol. 6
- Klassifikation
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Schlagwort
-
MEMS
Siliciumbauelement
Mikropumpe
Mikrofluidik
Leiterbahn
Heißprägen
Kunststoff
Verbindungstechnik
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Uelvesbüll
- (wer)
-
Der Andere Verl.
- (wann)
-
2011
- Urheber
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
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- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:51 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- May, Johanna F.
- Der Andere Verl.
Entstanden
- 2011
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