Archivale

V 1- Themenbericht: "Si (Silizium)-Epitaxie für MET (Multi-Epitaxie-Technik)"

Enthält u. a.: Verfahrenstechnische Entwicklung des Teilschrittes Epitaxie innerhalb der neuen Basistechnologie Multi-Epitaxie-Technik für Leistungstransistoren. - Diagramme.

Archivaliensignatur
504 Mikroel Stdf 49

Kontext
Rep. 504 VEB Mikroelektronik "Karl Liebknecht" Stahnsdorf >> Verfahren >> Epitaxie
Bestand
504 Mikroel Stdf (82315) Rep. 504 VEB Mikroelektronik "Karl Liebknecht" Stahnsdorf

Laufzeit
1982-1983

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Letzte Aktualisierung
07.04.2025, 11:31 MESZ

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Objekttyp

  • Archivale

Entstanden

  • 1982-1983

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