Archivale

V 2 - Themenbericht: "Si (Silizium)-Epitaxie für MET (Multi-Epitaxie-Technik)"

Enthält u. a.: Ergebnisse bezüglich der Parameterforderungen. - Tabellen.

Archivaliensignatur
Brandenburgisches Landeshauptarchiv (BLHA), 504 Mikroel Stdf 118

Bestand
504 Mikroel Stdf Rep. 504 VEB Mikroelektronik "Karl Liebknecht" Stahnsdorf
Kontext
Rep. 504 VEB Mikroelektronik "Karl Liebknecht" Stahnsdorf >> Verfahren >> Epitaxie

Laufzeit
1983

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Letzte Aktualisierung
26.10.2023, 11:45 MESZ

Objekttyp


  • Archivale

Entstanden


  • 1983

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