Monografie

Silizium-Epitaxie aus Molekularströmen in verdünnter Wasserstoffatmosphäre

Sprache
Deutsch
Identifier
1031667318

Thema
Silicium ; Epitaxie

Beteiligte Personen und Organisationen
Ljutovic, Abram Srulevic
Ludwig, Sören

URN
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
26.01.2023, 13:53 MEZ

Objekttyp


  • Monografie

Beteiligte


  • Ljutovic, Abram Srulevic
  • Ludwig, Sören

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