Laser assisted particle removal from Silicon wafers

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch
Anmerkungen
In: Particles on Surfaces by K L Mittal, publ by Plenum Publ, accepted as a chapter, 2001 / Mittal, K. L. (Hrsg.). - 6. - Plenum Publ., 2001

Klassifikation
Physik

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Konstanz
(wer)
Bibliothek der Universität Konstanz
(wann)
2007
Beteiligte Personen und Organisationen
Mosbacher, Mario
Münzer, Hans-Joachim
Bertsch, Micha
Dobler, Volker
Chaoui, Nouari
Siegel, Jan Philip
Oltra, Roland
Bäuerle, Dieter
Boneberg, Johannes
Leiderer, Paul

URN
urn:nbn:de:bsz:352-opus-29675
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
14.08.2025, 10:55 MESZ

Datenpartner

Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
Deutsche Nationalbibliothek. Bei Fragen zum Objekt wenden Sie sich bitte an den Datenpartner.

Beteiligte

  • Mosbacher, Mario
  • Münzer, Hans-Joachim
  • Bertsch, Micha
  • Dobler, Volker
  • Chaoui, Nouari
  • Siegel, Jan Philip
  • Oltra, Roland
  • Bäuerle, Dieter
  • Boneberg, Johannes
  • Leiderer, Paul
  • Bibliothek der Universität Konstanz

Entstanden

  • 2007

Ähnliche Objekte (12)