- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783826507328
3826507320
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
III, 150 S.
- Edition
-
Als Ms. gedr.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Bremen, Univ., Diss., 1994
- Keyword
-
Titannitrid
PECVD-Verfahren
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Aachen
- (who)
-
Shaker
- (when)
-
1995
- Creator
-
Crummenauer, Jürgen
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.03.2025, 11:47 AM CET
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Crummenauer, Jürgen
- Shaker
Time of origin
- 1995
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