PAR-CVD : Entwicklung leistungsfähiger paralleler Berechnungsverfahren zur Untersuchung und Optimierung von CVD-Prozessen
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783826566042
3826566041
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
IX, 177 S.
- Ausgabe
-
Als Ms. gedr.
- Sprache
-
Englisch
- Anmerkungen
-
graph. Darst.
Literaturverz. S. 165 - 177
- Schlagwort
-
Drei-Fünf-Halbleiter
MOCVD-Verfahren
Prozessmodell
Numerisches Modell
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Aachen
- (wer)
-
Shaker
- (wann)
-
1999
- Beteiligte Personen und Organisationen
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:59 MESZ
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Beteiligte
- Kadinski, Lev
- Shaker
Entstanden
- 1999
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