PAR-CVD : Entwicklung leistungsfähiger paralleler Berechnungsverfahren zur Untersuchung und Optimierung von CVD-Prozessen
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783826566042
3826566041
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
IX, 177 S.
- Edition
-
Als Ms. gedr.
- Language
-
Englisch
- Notes
-
graph. Darst.
Literaturverz. S. 165 - 177
- Keyword
-
Drei-Fünf-Halbleiter
MOCVD-Verfahren
Prozessmodell
Numerisches Modell
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.03.2025, 11:48 AM CET
Data provider
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- Kadinski, Lev
- Shaker
Time of origin
- 1999
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