Hochschulschrift
Synthese keramischer Schichten mittels plasmagestützter CVD Prozesse
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783826599699
3826599691
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
121 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss., 2001
- Schlagwort
-
Borcarbonitride
PECVD-Verfahren
Hochfrequenzplasma
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Aachen
- (wer)
-
Shaker
- (wann)
-
2002
- Urheber
-
Ahn, Hoon
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:41 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Ahn, Hoon
- Shaker
Entstanden
- 2002
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